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洁净室的空气洁净度等级的确定
洁净室的空气洁净度等级的确定
一、洁净室内有多种工序时,应根据各工序的不同要求,采用不同的空气洁净度等级。
二、在满足人生产工艺要求的前提下,洁净室的气流组级别,宜采用局部工作区空气净化和全室空气净化相结合的形式。
层流洁净室和乱流洁净室以及运行班次和使用时间不同的洁净室,其净化空气调节系统均宜分开设置。
一、满足生产工艺要求
二、生产工艺无温、湿度要求时,洁净室温度为20~26度。
一、乱流洁净室总送风量的10%~30%,层流洁净室总送风量的2~4%。
二、补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量。
三、保证室内每人每小时的新鲜空气量不小于40立方米。
宜采用移动式高效真空吸尘器或设置集中式真空吸尘系统。洁净室内集中式真空吸尘系统的管道,应暗敷。条在净化空气调节系统设计中,对施工和维护管理要求,可按附录四和附录五的规定。
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