洁净室正压控制
洁净室正压控制
条洁净室必须维持一定的正压。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差,应不小于4.9Pa,洁净区与室外的静压差,应不小于9.8Pa。
洁净室维持不同的正压值所需的正压风量,宜按下式计算:Q=q1(qL)(5.2.2)式中Q––维持洁净室正压值所需的正压风量(米3/时);a––根据围扩结构气密性确定的安全系数,可取1.1~1.2;q––当洁净室为某一正压值时,其围护结构单位长度缝隙的渗漏风量(3/时?米);L––围扩结构的缝隙长度(米)。
条送风、回风和排风系统的启闭联锁。系统开启时,联轴和序应为先启动送风机,再启动回风机和排风机,系统关闭时,则闻锁程序应相反。条非连续运行的洁净室,可根据生产工艺要求设置值班风机,并应对新风进行处理。