洁净厂房设计规范
气流组组织和送风量
1 气流组织的选择，应符合下列要求：
一、洁净工作区的气流速度，应满足空气洁净度和人体健康的要求，并应使洁净工作区气流流向单一。
二、回风口宜均匀布置在洁净室下部。
三、余压阀宜设在洁净室气流的下风侧，不宜设在洁净工作区高度范围内。
洁净室的气流组织和送风量，宜按表5.3.2选用。
乱流洁净室的送风量，应取下列规定的最大值；
 一、为控制室内空气洁净度所需要的送风量。
 二、按表5.3.2规定的送风量。
 三、根据热、湿负荷计算和稀释有害气体所需的送风量。